Структура и оптические свойства нанокристаллов InAs и InSb, синтезированных высокодозной ионной имплантацией в кремнии
Эскиз недоступен
Дата
2013
Название журнала
Номер ISSN
Название тома
Издатель
БарГУ
Анотация
Проведены исследования формирования наноразмерных кристаллитов InAs и InSb в кристаллическом кремнии методом высокодозной имплантации ионов InAs и InSb попарно и последующей высокотемпературной обработки. Установлено, что размеры кристаллитов и распределение внедрённых примесей по глубине образцов зависят от условий отжига. В спектрах фотолюминесценции образцов с нанокристаллитами зарегистрирована широкая полоса в диапазоне энергий квантов 0,75…1,10 эВ.
Описание
Ключевые слова
физика твердого тела, нанокристаллы
Библиографическое описание
Структура и оптические свойства нанокристаллов InAs и InSb, синтезированных высокодозной ионной имплантацией в кремнии / Ф. Ф. Комаров [и др.] // Вестник БарГУ. Серия, Физико-математические науки (Физика). Технические науки (Машиностроение и машиноведение. Процессы и машины агроинженерных систем). - 2013. - Вып. 1. - С. 7-13 : рис. - Библиогр.: с. 13 (3 назв.)