Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Власукова, Л. А.; Моховиков, М. А.; Пархоменко, И. Н.; Мудрый, А. В.; Веш, В.
(БарГУ, 2013)
Проведены исследования формирования наноразмерных кристаллитов InAs и InSb в кристаллическом кремнии методом высокодозной имплантации ионов InAs и InSb попарно и последующей высокотемпературной обработки. Установлено, что ...